Physical Vapon Deposition
[Physikalische Abscheidung aus der Dampfphase]
1.
Vorbehandlung der Oberfläche, welche frei von Rückständen wie Öle, Fette, Oxidationen und Schleifrückständen sein müssen, durch automatische Reinigungsanlagen mit verschiedenen alkalischen/sauren Bädern.
2.
Richtige Anordnung der Werkzeuge in der Beschichtungskammer, welche maßgebend für eine korrekte und gleichmäßige Bedampfung ist. Danach wird in der Beschichtungskammer ein Vakuum von 10 -4 Torr erzeugt.
3.
Werkzeugoberfläche wird durch intensiven Ionenbeschuss von mikroskopisch dünnen Oxidationsschichten und Verunreinigungen gesäubert. Die Werkzeugmenge, der Druck und die aufgebrachte Energie des Ionenbeschußes entscheiden über die Dauer der Aufwärmzeit.
4.
Der eingesetzte ARC Prozess, ermöglicht das Beschichten mit hohem Ionisationsgraden bei Temperaturen zwischen 180 C - 500 C . [TiN, TiCN, AlTiN, TiAlN, AlCrN, TiSiN, CrN...] Die korrekte Wahl der Temperatur ist Voraussetzung für gute Schichteigenschaften. Nitride und Karbide von hochreinen Metallen wie Titan, Aluminium, Silicium, Chrom, Zirkon... werden mittels Magnetfeld gesteuerten Funken, im Vakuum verdampft. Positiv ionisierte Edelmetallteilchen prallen mit hoher Geschwindigkeit auf die negativ geladene Werkstückoberflächen auf. Führt man dem Prozess Reaktivgase wie Sauerstoff, Stickstoff oder Kohlenwasserstoffe zu, lassen sich auch Oxide, Nitride oder Karbide abscheiden. Diese führt zur Bildung hochharter Nitriden, Carbiden und Carbonitriden.
PVD-Hartstoffschichten sind mit Druckeigenspannungen geprägt.
Beschichtungen auf härteren Trägerwerkstoffen wie Hartmetall sind leistungsfähiger wie auf HSS, denn dieser weißt eine höhere Stützkraft bei Punk- und Linienbelastung auf und verhindert ein Einbrechen der Schicht. Dadurch können mit Hartmetall Werkzeuge höhere Schnittwerte gefahren werden.
5.
Dieser Prozess besteht aus der Abkühlung und Entnahme der Werkzeuge.
6.
Anschließend werden die Werkzeuge in Öl konserviert und einzeln Verpackt.